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石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进
石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wankunbaobao
【摘 要】
:
石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振
【作 者】
:
李文蕴
林日乐
满欣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心,重庆市固态惯性技术工程实验室
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2015年4期
【关键词】
:
石英微机械
陀螺
随机振动
有限元
【基金项目】
:
重庆市青年科技人才培养计划基金资助项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
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石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力。
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