【摘 要】
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系统地介绍了用热式流量传感器测量微气体流量的方法,并在此基础上提出了微气体流量检测仪器的设计方案,同时阐述了微气体流量检测的基本概念、检测方法以及热式质量流量的测
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系统地介绍了用热式流量传感器测量微气体流量的方法,并在此基础上提出了微气体流量检测仪器的设计方案,同时阐述了微气体流量检测的基本概念、检测方法以及热式质量流量的测量原理。设计的检测仪器方案主要以AWM3100为核心组成,相关的电路设计包括A/D转换电路,信号选通电路,复位电路,按键电路以及以AT89C52为核心的采集控制电路,最后为该检测仪器设计了软件流程图。
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