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在真空条件下,通过氧化铪和碳化硼反应制备出高纯硼化铪粉体并采用X射线衍射及扫描电子显微镜对其物相组成和形貌进行表征。结果表明:在真空条件下,氧化铪和碳化硼在1300℃的温度下即可发生反应,与由吉布斯自由能和范特霍夫等温公式所得结果相吻合。硼化铪晶粒尺寸随着烧结温度和保温时间的增加而增大,保温时间对其影响更明显。过量的碳化硼对硼化铪的结晶性有帮助,并且硼化铪的结晶度随着碳化硼的增加得到提高。