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针对现有膜厚监控系统的双平行光路系统和监测光直接照射单色仪入射狭缝的结构，提出了四光路透镜成像系统，同时采用光纤传光。实验表明它提高了膜厚监的稳定性和精度，并有较高的性能价格比，此外从理论上对多光路透镜成像系统的设计和调校进行了定量分析。
四光路透镜成像系统研究
【摘 要】
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针对现有膜厚监控系统的双平行光路系统和监测光直接照射单色仪入射狭缝的结构，提出了四光路透镜成像系统，同时采用光纤传光。实验表明它提高了膜厚监的稳定性和精度，并有较高的
【机 构】
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西安工业学院数理系,西安工程科技学院信息控制系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2002年10期
【基金项目】
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兵器工业科研基金项目 (编号 2 2 96 82 - 3)
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