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讨论了ＩＴＯ膜的湿法蚀刻特性，得出了有关蚀刻速率的定量关系；比较了ＩＴＯ膜的不同配比的蚀刻液，并指出了加热至５０℃￣６０℃的、体积比为５０：（３￣９）：５０的ＨＣｌ和ＨＮＯ３与水混合液比较适合于大规模生产需要。
ITO膜层蚀刻性能实验研究
【摘 要】
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讨论了ＩＴＯ膜的湿法蚀刻特性，得出了有关蚀刻速率的定量关系；比较了ＩＴＯ膜的不同配比的蚀刻液，并指出了加热至５０℃￣６０℃的、体积比为５０：（３￣９）：５０的ＨＣｌ和ＨＮＯ３与水混合液比较适合于大规模生产需要。
【机 构】
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深圳莱宝真空技术有限公司
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1997年1期
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