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本文全面系统介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成,设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析.
一台国外引进微光管制备真空设备超高真空获得的技术改进
【摘 要】
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本文全面系统介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成,设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析.
【机 构】
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西安应用光学研究所
【出 处】
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2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2004年7期
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