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着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。
超高纯气体管路系统
【摘 要】
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着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。
【机 构】
：
航空航天部第七设计研究院北京100071
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
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1992年03期
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