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本文分析了几种薄膜厚度的测量方法，阐述了利用石英的晶体振荡频率与晶体厚度间的关系在线测量薄膜厚度的方法，并介绍了测量系统的组成情况。
薄膜厚度在线测量技术的研究
【摘 要】
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本文分析了几种薄膜厚度的测量方法，阐述了利用石英的晶体振荡频率与晶体厚度间的关系在线测量薄膜厚度的方法，并介绍了测量系统的组成情况。
【出 处】
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电子与仪表
【发表日期】
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1999年2期
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