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本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
硅片传输机器人的发展及研究现状
【摘 要】
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本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
【机 构】
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大连理工大学机械工程学院
【出 处】
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机器人技术与应用
【发表日期】
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2007年04期
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