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本工作研究了在热丝(HF)CVD法生长金刚石薄膜中的热丝技术,给出了一种通常作为热丝的钨丝的实用性预处理方法,并且研究了热丝温度分布对生长膜厚度的影响,发现膜厚分布与基片表面温度分布是一致的。
HFCVD法生长金刚石薄膜中的热丝技术
【摘 要】
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本工作研究了在热丝(HF)CVD法生长金刚石薄膜中的热丝技术,给出了一种通常作为热丝的钨丝的实用性预处理方法,并且研究了热丝温度分布对生长膜厚度的影响,发现膜厚分布与基片
【机 构】
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航空航天部第014中心,合肥工业大学应用物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年1期
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