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针对微加速度计接口电路的Sigma-Delta(∑△)数字反馈系统,提出了一种基于脉宽调制(PWM)的力反馈回路:利用模拟低通滤波器将PWM波解调成模拟输出信号,具有滤波和数模转换功能。首先建立微加速度计∑△闭环反馈系统的Simulink模型并进行了系统级仿真。之后采用FilterSolutions滤波器设计软件确定三阶低通巴特沃斯滤波器,并采用Pspice仿真软件进行电路级仿真。最后将制作的PCB版电路进行测试:PWM波通过力反馈回路能还原成高保真度的模拟信号,输出信号和输入信号的频率相对误差小于0.3