【摘 要】
：
针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器.该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连接层和下部支撑层等多层结构构成,其中上部
【机 构】
：
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学微纳电子学系,上海200240
论文部分内容阅读
针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器.该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连接层和下部支撑层等多层结构构成,其中上部结构层一方面采用不对称梳齿结构实现差分电容检测,另一方面布置周期性调制梳齿实现系统势能函数呈现双稳态.通过流体-固体力学-静电多物理场耦合分析,得到电容随流速的变化关系,分辨率优于0.001 m/s,另外通过调制梳齿的静电场分析,绘制出系统势能函数曲线.最后,基于MEMS加工技术,通过设计合理的工艺流程制备出了该传感器.
其他文献
设计制作了一款具有开窗功能的行间转移CCD,其阵列规模为640×480元,像素尺寸为7.4μm×7.4μm,可在4种窗口分辨率,即640×480元、228×480元、640×164元和228×164元下开窗工作,具备单、双通道输出信号功能,当器件窗口分辨率为228×164元、以双输出通道模式工作时,帧频能够达到500f/s,可以应用于高速目标识别领域。
实验以硫酸亚铁、氢氧化钠、硫酸铝钾和乙二胺四乙酸(EDTA)等为主要原料,首先调节pH值液相氧化制备前驱物γ-FeOOH,然后水热法制备氧化铁红(α-Fe2O3)和改性氧化铁红.通
艺术渗透并融入了我们的生活，影响人们的心理，反应人们的思想，映射人们的行为，然而艺术的本质是什么？或许艺术在不同时间，不同空间，不同体验，不同层次，不同形式中，有不同的代名词，但是他
随着社会的发展,我国的科学技术正处在不断上升阶段,在配电网系统中应用电力自动化系统既能提高设备的使用寿命,又能保证其安全运行.主要从电力自动化系统与配电网的角度出发
高素质技能型人才的培养是技工院校的核心本文围绕技工院校德育教育,简要概述了当前技工院校德育教育工作中突出的问题,分析问题产生的原因,并有针对性地提出提升技工院校德
随着社会经济的飞速发展,国有企业面临着机遇与挑战并存的局面,想要在这样市场竞争如此激烈的环境中实现稳步发展,则必须要加强对国有企业自身管理水平的提升,如何在精益管理
Polyacetylacetonatozirconium (PAZ) is a widely used precursor for the fabrication of continuous ZrO2 fibers which are important reinforced materials for cer
The Fe-doped TiO2 sampleswas prepared bysol-gel method.XPS analyses of the TiO2 samples and the Fe doping content and calcination temperatures were conducte
Objective: To investigate the clinical efficacy of the toothpaste containing 12 % high cleaning silica (HCS) and 2.1% sodium phytate on removing natural ext
戴都都、李铁子、张安君绝对算不上当代画坛的豪华组合,但他们肯定是制造了一起在中国美术界具有颠覆意义的大事件。多年以后,当人们重温2006年中国的文化事件,恐怕不能不提