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本文介绍了电子背散射衍射(EBSD)分析技术的基本原理、发展历史、EBSD系统的组成、实验条件、分辨率及EBSD数据处理方法等。通过多个典型的实例,系统介绍EBSD技术在材料研究领域中的应用,并就EBSD技术与其他相关分析技术的比较进行了讨论。
电子背散射衍射技术及其在材料科学中的应用
【摘 要】
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本文介绍了电子背散射衍射(EBSD)分析技术的基本原理、发展历史、EBSD系统的组成、实验条件、分辨率及EBSD数据处理方法等。通过多个典型的实例,系统介绍EBSD技术在材料研究
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 北京100084
【出 处】
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中国体视学与图像分析
【发表日期】
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2005年04期
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