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采用Tiersten方程研究了环形ZnO薄膜谐振器中横模寄生问题，获得了环（圆）形薄膜谐振器的横模振动方程，求得横模位移场解和频率色散方程；然后采用电磁学模式合成理论进行分析，发现环形薄膜谐振器横模频率与环形电极的内外径之比4／b有关，振动模式可由圆形薄膜谐振器横模模式合成得到，通过控制4／8能够抑制横模模式数和调控基膜频率．采用外差激光干涉仪和网络矢量分析仪测量并比较了同批次的圆形和环形薄膜谐振器的上电极横模振动图样和电阻抗曲线．振动图样显示环形薄膜谐振器振动模式可由半径为a和半径为b的圆形薄膜谐振器振