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主要介绍了光纤波分复用（WDM）中用的分光膜的批量镀制工艺。在大量实验基础上，对比不同膜系及膜料的选择，重点介绍了工艺流程中的镀制、监控、检测等主要环节。制备的微镜片性能稳定，已经完全达到用户的需求。
WDM用微镜片分光膜的镀制
【摘 要】
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主要介绍了光纤波分复用（WDM）中用的分光膜的批量镀制工艺。在大量实验基础上，对比不同膜系及膜料的选择，重点介绍了工艺流程中的镀制、监控、检测等主要环节。制备的微镜片性能
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2002年5期
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