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介绍了超高纯氩气的提纯方法。通过采用联合的单元操作,可以生产99.9999%纯度的超纯氩气,同时大大减少了贵重吸气剂的消耗。
超纯氩(氦)净化技术
【摘 要】
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介绍了超高纯氩气的提纯方法。通过采用联合的单元操作,可以生产99.9999%纯度的超纯氩气,同时大大减少了贵重吸气剂的消耗。
【机 构】
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光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2009年03期
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