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针对时栅位移传感器因频率响应慢影响测量速率的问题,提出了一种电阻链移相结合数据处理的方法。利用电阻链对时栅输出信号进行移相处理,采用多路模拟选择器和整形输出电路对移相后的信号分时输出,运用可编程片上系统(SOPC)技术进行数据处理和误差补偿。实验结果表明:采用该方法采样频率由原来的400 Hz提高到12.8 k Hz,大幅度提高了现阶段时栅位移传感器的频率响应,使传感器实现了高速实时测量。同时能够有效地降低了随机误差,对极内的误差峰—峰值由1.5″降低为0.8″,测量精度提高了近1倍。