【摘 要】
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由于塑料、玻璃模压成形技术的进步,非球面透镜、反射镜的普及期正在到来。至于光学研磨面的形状测定方法,以前提出的有机械触针式、干涉法等几种。激光束偏转法,是用激光束照射被检测表面,根据反射角的变化求出面的斜度,再对斜度求积分而求出面的形状。本测定法因为是基于简单的几何学原理,所以最后测定精度取决于装置的机械精度。因此,既能有效利用非接触法这一光学方法的优点,又可以得到接近机械测定法的精度。另外,能用同一结构无需参考面而对凹、凸两种面的形状进行测定,特别是对于F数大的面效果更佳。
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由于塑料、玻璃模压成形技术的进步,非球面透镜、反射镜的普及期正在到来。至于光学研磨面的形状测定方法,以前提出的有机械触针式、干涉法等几种。激光束偏转法,是用激光束照射被检测表面,根据反射角的变化求出面的斜度,再对斜度求积分而求出面的形状。本测定法因为是基于简单的几何学原理,所以最后测定精度取决于装置的机械精度。因此,既能有效利用非接触法这一光学方法的优点,又可以得到接近机械测定法的精度。另外,能用同一结构无需参考面而对凹、凸两种面的形状进行测定,特别是对于F数大的面效果更佳。
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