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阐述了在微带精密蚀刻过程中影响蚀刻速率变化的诸多因素，探讨了酸性氯化铜蚀刻液工艺控制应该注意的问题和解决办法。
微带蚀刻工艺影响因素探讨
【摘 要】
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阐述了在微带精密蚀刻过程中影响蚀刻速率变化的诸多因素，探讨了酸性氯化铜蚀刻液工艺控制应该注意的问题和解决办法。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第39研究所
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2004年2期
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