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对于x切H:LiNbO3光波导,在532nm和1310nm，用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究。对于在150℃，180℃和200℃用苯甲酸质子交换的光波导，分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线，在此基础上给出质子交换的扩散系数与交换温度的关系曲线。对于在180℃质子交换并在350℃退火的光波导，给出以交换时间（交换厚度）为参变量的表面折射率增量、有效厚度与退火时间的关系曲线。研究结果可供低损耗α相单模波导的设计和制备做参考。