【摘 要】
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为了降低环境振动对光学谐振腔稳定性的影响，设计了对振动不敏感的超稳腔，采用有限元数值模拟的方法，通过改变相关参量，对两u型片支撑和双横梁支撑两种圆柱体腔的支撑方式进行了
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为了降低环境振动对光学谐振腔稳定性的影响，设计了对振动不敏感的超稳腔，采用有限元数值模拟的方法，通过改变相关参量，对两u型片支撑和双横梁支撑两种圆柱体腔的支撑方式进行了数值模拟，得到了腔体的形变图。结果表明，通过改进腔的支撑方式和调整支撑位置，可以降低腔长对振动的敏感度，找到腔长变化最小且两腔镜平行的关键支撑位置。该结果可用于激光稳频和高精密激光光谱实验中。
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