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<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.
硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同
【摘 要】
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<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.
【机 构】
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黑龙江大学物理系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1995年2期
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