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以SiO2为磨料，同时将MgF2微粉作为固相反应催化剂加入到SiO2磨料中，利用蓝宝石和SiO2之间的固相反应，通过去除生成的软质反应层的方法，对蓝宝石晶片进行机械化学研磨抛光，在获得良好的表面加工质量的同时，提高蓝宝石晶片加工效率。
蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究
【摘 要】
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以SiO2为磨料，同时将MgF2微粉作为固相反应催化剂加入到SiO2磨料中，利用蓝宝石和SiO2之间的固相反应，通过去除生成的软质反应层的方法，对蓝宝石晶片进行机械化学研磨抛光，在获得良
【机 构】
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浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室,湖南大学机械与运载工程学院,衢州学院
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2011年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目（50535040）,2010年浙江省自然基金资助（Y1101085,Y1101095）
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