【摘 要】
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透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜.常见的透明导电薄膜为ITO（锡掺杂三氧化铟）、AZO(铝掺杂氧化锌)等.目前,锡掺杂三氧化铟(ITO)薄膜应用最为
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透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜.常见的透明导电薄膜为ITO（锡掺杂三氧化铟）、AZO(铝掺杂氧化锌)等.目前,锡掺杂三氧化铟(ITO)薄膜应用最为广泛,却存在铟(In)、锡(Sn)等材料自然储量较少而且分散、生产成本高、有毒性、化学性质活泼、制备工艺难度大等缺点,因而促使人们加大对铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的研究力度.国内外学者制备AZO薄膜的方法主要有:化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、脉冲激光法、分子束外延法以及溅射法.以下分析的是溶胶—凝胶工艺.
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