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退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
来源 :中山大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:smallfishyl
【摘 要】
:
研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数,获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度,位置和
【作 者】
:
张海燕
陈可心
刘颂豪
梁礼正
王卫乡
【机 构】
:
广东工业大学应用物理系!广东广州510090华南师范大学量子电子学研究所,广东广州510631,华南师范大学量子电子学研究所!广东广州510631,广东工业大学应用物理系!广东广州510090
【出 处】
:
中山大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2000年S2期
【关键词】
:
纳米硅
激光诱导化学气相沉积(LICVD)
红外光谱
nanosized siliconlaser induced chemical vapour deposi
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研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数,获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度,位置和退火气氛与退火温度的关系
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