【摘 要】
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随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等
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随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点,许多学者都致力于研究新型微能源供电装置。通过分析国内外参考文献,对微能源领域当前研究热点进行介绍,包括:微型锌镍电池、微型锂电池、微型燃料电池、微型太阳能电池、微型同位素电池、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。多种微能源装置各有特点,重点阐述了每种微能源装置的工作原理、研究现状以及当前研究需要克服的难题,最后概括了微能源装置的未来发展趋势。
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