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多晶硅薄膜材料一直在半导体领域中扮演着重要角色。综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展。
多晶硅薄膜材料与器件研究进展
【摘 要】
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多晶硅薄膜材料一直在半导体领域中扮演着重要角色。综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展。
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2000年7期
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