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<正> 径流式宽程拖动分子泵,具有无油抽空的特点,抽真空范围比较宽,从133Pa至10-5P可以替代机械增压泵和油扩散泵之作用,所以特别适用于各种真空镀膜设备使用。 性能指标: 极限真空:6.67×10-5Pa 抽速:>6000升/秒 功率:7.5千瓦 用水量:0.5T/小时
KF-600型径流式宽程拖动分子泵
【摘 要】
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<正> 径流式宽程拖动分子泵,具有无油抽空的特点,抽真空范围比较宽,从133Pa至10-5P可以替代机械增压泵和油扩散泵之作用,所以特别适用于各种真空镀膜设备使用。 性能指标: 极
【出 处】
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机电新产品导报
【发表日期】
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1994年07期
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