【摘 要】
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综述了微机电系统(MEMS)加速度计辐照效应与辐照机理国内外现状,阐释了其加固技术研究的必要性.介绍了不同类型MEMS加速度计的辐射敏感性及材料的辐射退化机理、不同材料的辐
【机 构】
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中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621999
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综述了微机电系统(MEMS)加速度计辐照效应与辐照机理国内外现状,阐释了其加固技术研究的必要性.介绍了不同类型MEMS加速度计的辐射敏感性及材料的辐射退化机理、不同材料的辐射损伤表现及硅材料的辐射效应;重点分析了MEMS加速度计国内外辐照试验研究,最后给出了MEMS加速度计辐射加固研究方向的建议.
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