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用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳(a-C：H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团，则能够在a-C：H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的网络结构中。喇曼光谱表明薄膜具有无序态结构。红外分析表明薄膜中有胺基团存在，将掺胺的a-C：H薄膜作为质量传感膜沉积到石英晶体表面制成气相质量传感器。测试表明掺胺a-C：H膜对甲酸蒸气具有高的响应灵敏度，好的线性相关系数和宽的线性响应范围。