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描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软X-射线源而进行的近贴显微研究,并得到了分辨率好于1μm的结果.
激光软X—射线近贴显微技术初步研究
【摘 要】
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描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软X-射线源而进行的近贴显微研究,并得到了分辨率好于1μm的结果.
【机 构】
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Xi',anInstofOpticsandFine
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1993年6期
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