【摘 要】
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介绍了基于反向平衡式二极管和石英基片完成,而非集成电路的0.68 THz和1.00 THz频段平衡式三倍频.此项工作提高了二极管等效电路模型,该二极管模型不仅包括I/V和C/V,同时还加
【机 构】
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中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心,中国工程物理研究院电子工程研究所
【基金项目】
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Microsystem and Terahertz Research Center,Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics(CAEP-IEE),National Key Basic Research Program of China(973 Program)(2015CB755406),Def
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介绍了基于反向平衡式二极管和石英基片完成,而非集成电路的0.68 THz和1.00 THz频段平衡式三倍频.此项工作提高了二极管等效电路模型,该二极管模型不仅包括I/V和C/V,同时还加入了等离子体共振和趋肤效应,将薄膜电路减薄至15μm,机械加工精度提高至3μm内,使工作频率提高至1.2 THz.通过场路协同仿真,利用高精度太赫兹装配工艺,最终实现工作频率为0.68 THz和倍频效率为1%的三倍频器,工作频率为1.00 THz和倍频效率为0.6%的三倍频器,输出相对带宽均大于10%.
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