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文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成，线圈由手工在显微镜下绕制完成，转子直径2mm，整个电机直径5mm。
利用LIGA技术研制超微步进电机
【摘 要】
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文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成，线圈由手工在显微镜下绕制完成，转子直径2mm，整个
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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2001年3期
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