【摘 要】
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通过化学气相沉积法,以MoO_3和S粉为反应物制备大面积的二硫化钼（MoS_2）薄膜,通过拉曼光谱、原子力显微镜、透射电子显微镜对产物的层数和结构进行表征,结果证明通过该方法制备
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通过化学气相沉积法,以MoO_3和S粉为反应物制备大面积的二硫化钼（MoS_2）薄膜,通过拉曼光谱、原子力显微镜、透射电子显微镜对产物的层数和结构进行表征,结果证明通过该方法制备的MoS_2薄膜具有单层及少层结构.气敏测试结果表明该超薄MoS_2薄膜在室温下对NO具有良好的灵敏度和选择性,对体积浓度为10、50（×10~（-6））的NO气体的灵敏度为9.3%和19.3%,响应时间（恢复时间）快,分别为281 s（298 s）和120 s（190 s）,其优异的气敏性能与超薄MoS_2薄膜的高比表
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