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氧化钒薄膜由于其具有高电阻温度系数（TCR），近年来被广泛应用于非制冷红外探测器。利用离子束增强沉积法，通过精确控制溅射电压、退火温度优化了氧化钒的制备工艺，制备出的氧化钒薄膜电阻为40kΩ、TCR为-2．5%K^-1，满足非制冷焦平面探测器氧化钒薄膜的应用的要求。
适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究
【摘 要】
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氧化钒薄膜由于其具有高电阻温度系数（TCR），近年来被广泛应用于非制冷红外探测器。利用离子束增强沉积法，通过精确控制溅射电压、退火温度优化了氧化钒的制备工艺，制备出的氧化钒
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2009年6期
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