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本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo（KMC）方法，模拟TiN薄膜在TiN（001）基底表面上外延生长的仿真结果。在此无格点KMC方法中，使用了Dimer算法在势能面中搜索鞍点和低能盆底。仿真的结果证实，此无格点KMC方法对于仿真二元薄膜外延生长是有效的。本文中还讨论了无格点KMC的计算量问题、运算过程中Dimer的初始位置问题和势能面中浅盆底问题。