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论述了霍尔等离子体源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场,及沿轴向有较大梯度的磁场,还给出了束流均匀区实测结果及工业应用初步结果.
走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源
【摘 要】
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论述了霍尔等离子体源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场,及沿轴向有较大梯度的磁场,还给出了束流均匀区实测结果及工
【机 构】
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中国科学院空间中心,北京市光电研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2002年9期
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