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就工业涂镀系统ＨＴＣ－１０００－ＭＫＩ而言，组合的电弧／不平衡磁控管（ＡＢＳ＾ＴＭ）的ＰＶＤ硬涂层技术用于硬涂布市场已有五年了，除了有改进的ＨＴＣ－１０００－ＡＢＳ－ＭＫⅡ型外，目前使用的是ＨＴＣ－１５００－ＡＢＳ，其生产能力是原型的４倍。
使用先进的控制电弧和组合电弧／不平衡磁控管（ABS^TM）沉积技术的？…
【摘 要】
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就工业涂镀系统ＨＴＣ－１０００－ＭＫＩ而言，组合的电弧／不平衡磁控管（ＡＢＳ＾ＴＭ）的ＰＶＤ硬涂层技术用于硬涂布市场已有五年了，除了有改进的ＨＴＣ－１０００－ＡＢＳ－ＭＫⅡ型外，目前使用的是ＨＴＣ－１５００－ＡＢＳ，其生产能力是原型的４倍。
【出 处】
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国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
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1998年4期
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