DLC多层膜对1Cr18Ni9Ti钢微动磨损性能的影响

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【摘要】

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用非平衡磁控溅射与等离子体源离子注入(PSII)的混合技术,研究了类金刚石碳(DLC)多层膜对1Cr18Ni9Ti钢微动磨损性能的影响.结果表明:注入N后,改性层内形成了CrN和Fe3N等氮化

【作者】

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郭军霞陈秋龙蔡珣韩兆隆

【机构】

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上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实验室,上海大型铸锻件研究所

【出处】

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机械工程材料

【发表日期】

：

2002年8期

【关键词】

：

微动磨损等离子体源离子注入多层膜 1Cr18Ni9Ti不锈钢 fretting wear plasma source ion implantation (

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用非平衡磁控溅射与等离子体源离子注入(PSII)的混合技术,研究了类金刚石碳(DLC)多层膜对1Cr18Ni9Ti钢微动磨损性能的影响.结果表明:注入N后,改性层内形成了CrN和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高1Cr18Ni9Ti钢基体的微动磨损性能;试验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的微动磨损性能.

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