【摘 要】
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采用纳米压痕技术结合有限元模拟和量纲分析方法分析薄膜材料的弹塑性性能．用有限元模拟纳米压痕过程，结合量纲分析方法将纳米压痕的加卸载过程与被测材料的力学性能联系起来，建
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采用纳米压痕技术结合有限元模拟和量纲分析方法分析薄膜材料的弹塑性性能．用有限元模拟纳米压痕过程，结合量纲分析方法将纳米压痕的加卸载过程与被测材料的力学性能联系起来，建立起两者间的无量纲函数关系结构式，进而结合实际纳米压痕试验所得薄膜的弹性模量和载荷-位移曲线计算出了材料的应力-应变关系．经检验，有限元模拟所得到载荷位移曲线和纳米压痕试验所得载荷-位移曲线吻合得比较好，因此验证了有限元模型的正确性和材料模拟的正确性．
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