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图16为以等离子体内SiH3为生长前驱物模式的硅薄膜沉积示意图。此模型中假设在SiH3离子落向衬底之前，表面将被H覆盖。首先SiH4在等离子体内与电子发生碰撞，（1）电子将自己的动能给予SiH4，使其分解成SiH3和H原子；（2）SiH3附着于衬底表面；
硅基薄膜太阳电池（四）
【摘 要】
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图16为以等离子体内SiH3为生长前驱物模式的硅薄膜沉积示意图。此模型中假设在SiH3离子落向衬底之前，表面将被H覆盖。首先SiH4在等离子体内与电子发生碰撞，（1）电子将自己的动能给
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2012年9期
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