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首先介绍半导体气敏元件的工作原理,然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述.
半导体气敏元件
【摘 要】
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首先介绍半导体气敏元件的工作原理,然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述.
【机 构】
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福建农林大学机电学院．福建福州350002
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2005年1期
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