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从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题,指出了影响附着力的主要因素,提出了增加附着力的几种途径.
脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究
【摘 要】
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从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题,指出了影响附着力的主要因素,提出了增加附着力的几种途径.
【机 构】
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西安工业学院(陕西西安)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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