申请号:201110290577.7专利

来源 :超硬材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hyy10123
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名称:一种微型钻头金刚石薄膜涂层的制造方法摘要:本发明公开了一种微型钻头金刚石薄膜涂层的制造方法,对微钻的基底材料进行表面处理,采用多步沉积法,控制热丝化学气相CVD(Chemical? Vapor? Deposition化学气相沉淀)金刚石薄膜沉积生长条件:加热热丝的温度、腔体内的压力、反应源气体的选择与流量、热丝的排布、微型钻头顶端与热丝之间的距离、热丝排布间距、薄膜沉积生长时间、微型钻头顶部表面温度等。
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