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利用分子自组装成膜技术,在单晶硅表面制备了有机硅烷/Ag2O纳米微粒复合膜.应用接触角测定仪、原子力显微镜和X射线光电子能谱仪分析表征了薄膜的组成和结构.结果表明,通过硅烷偶联剂3-氨丙基-三乙氧基硅烷在单晶硅基底表面的成功组装,获得了较为均匀的硅烷化表面,而Ag2O纳米微粒可在硅烷化表面成功地进行组装,并呈亚单层排布.