【摘 要】
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首先,重点介绍了目前卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺的研究进展,概述了国内外相关研究主要的方法、结果与发现;其次,分析了卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺研究的现状,归纳出目前国
【机 构】
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石河子大学化学化工学院,天津大学化工学院,新疆晶科能源有限公司
【基金项目】
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教育部“创新团队发展计划”（IRT_15R46）, 国家自然科学基金（21706167）, 天津市应用基础与前沿技术研究计划（15JCQN JC05800）, 石河子大学高层次人才科研启动（RCZX201507）项目
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首先,重点介绍了目前卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺的研究进展,概述了国内外相关研究主要的方法、结果与发现;其次,分析了卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺研究的现状,归纳出目前国内外各种方法的优劣性及适用性;最后,对我国卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺研究进行了展望,提出我国该工艺研究的发展趋势与方向,今后我国应加强吸附法的研究,分子设计并合成具有特定功能的原子或基团的树脂吸附剂,用于卤硅烷体系除B、P杂质,最终形成流程简单、能耗较低、除杂效果稳定的树脂吸附工艺。
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