论文部分内容阅读
采用HF／HNO3酸刻蚀液对金刚石线切割太阳电池多晶硅片进行制绒研究，对比分析了刻蚀液浓度、刻蚀时间以及以H2O和CH3COOH为添加剂等因素下的多晶硅片绒面形貌特性。结果表明：富HF体系，金刚石线切割多晶硅片表面的划痕加深，但其表面刻蚀效果较好；富HNO3体系，金刚石线切割多晶硅片表面往复纹微消除，而表面制绒效果不佳；然而，随着时间延长，富HF和富HNO3刻蚀多晶硅片表面腐蚀坑均由较小凹坑状逐渐变大,最终形成条状腐蚀坑；与H2O为添加剂相比，CH3COOH下的硅片表面腐蚀坑分布较均匀。研究成果为金刚石线