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利用弹性二次电子进行电子能谱分辨率以及电子倍增器工作曲线测量,不仅测量过程方便快捷,并且其测量结果与常规测量方法进行测量的电子能谱分辨率以及电子倍增器工作曲线结果相一致。本文通过对于弹性二次电子进行电子能谱分辨率以及电子倍增器工作曲线测量的条件方法以及测量结果的分析概述,对于弹性二次电子测量电子能谱分辨率和电子倍增器工作曲线进行重点分析与研究。