【摘 要】
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离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助＂子母同体＂结构设计和超精密车削技术实现高精度
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室、天津微纳制造工程技术中心
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离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助＂子母同体＂结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面车削加工可实现多个离轴非球面的加工,并从加工路径优化设计和补偿加工技术的研究方面,论述了提高面形精度的方法。实验结果表明：离轴非球面镜的面形精度P-V可在200nm之内,粗糙度Ra约为6nm。
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