X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcj_111
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目前国际上X射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构,其缺点是侧滑角大,严重影响干涉信号的对比度,很容易产生干涉条纹的记数误差.为此提出了非对称结构微动工作台的设计思想,并引入有限元方法进行了结构参数优化,研制了整体式X射线干涉仪.理论分析和实验表明:利用非对称结构研制的X射线干涉仪,分析器的侧滑角显著下降,干涉信号的对比度大大提高,更适合X射线干涉纳米测量的要求.
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